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第260章 收购奥利维地的资产

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胡一亭视察了一遍重光中央研究院后,和研发人员们开了个碰头会,了解了一下目前的研发项目进度,会后和康耀祥吴市欢商量了下,决定由康耀祥吴市欢等五人和胡一亭一起,加入微电子所的技术攻关。

接下来两周,重光技术小组陷在微电子所里,和这里的技术人员一起工作。

胡一亭身披一套“国内IC业界绝顶天才神童”的伪装色,亲自对微电子所0.8微米集成电路技术的一系列工艺问题进行了解答,并亲自出手参与试验线路微调改造。

从无尘实验室出来,经过两道隔离门,胡一亭和吴登超、康耀祥等技术人员在更衣室内脱去厚重的防尘防静电工作服。

经过一天紧张劳累后,吴所长依然难掩兴奋之情:“胡一亭你太神了!你今天是怎么知道问题出在这台分步重复投影光刻机的物镜温度上的?”

胡一亭笑着掩饰道:“我也是猜的,之前几天我们已经把离子溅射机反复排查了几遍,调整了离子注入浓度,既然还是有问题,那就很可能是光刻机的投影线宽不稳定导致的,而且吴所你们发现没有,我们这几天连续流片104次,开始的48次,每次相隔一个小时,每小时的良品率虽然都不一样,但也出现了有规律的微弱波动,开始时,高值波峰总是在白天中午,波谷数据总是在凌晨以后。后来的46次流片中,机器连续运转,结果出现了一个明显的良品率先低后高再低的波动曲线,所以我猜很有可能是物镜过热,出现了工作温差,机器内部大约1摄氏度的温差下,物镜的投影宽度受到影响。”

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